特許

J-GLOBAL ID：200903026547602700

放射線感応性樹脂組成物

発明者： 伊東 敏雄
出願人/特許権者： 沖電気工業株式会社
代理人 (1件)： 大垣 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-156429
公開番号（公開出願番号）：特開平7-134416
出願日： 1993年06月28日
公開日（公表日）： 1995年05月23日
要約：

【要約】【目的】 放射線に対して高い感度を有しかつ高解像度の新規な放射線感応性樹脂組成物を提供すること。【構成】 第1の成分として、分子量11500、分子量分散1.23のポリ(ヒドロキシスチレン)1.2g、第2の成分として、ナフタレンスルホン酸t-ブチル132mg、第3の成分として、トリフェニルスルホニウムトリフレート20.6mgをそれぞれ溶剤であるシクロヘキサノン6.0mlに溶解してレジスト液を調製する。

請求項（抜粋）：

フェノール樹脂、スルホン酸エステル及び酸発生剤を含むことを特徴とする放射線感応性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/028 ,  H01L 21/027