特許
J-GLOBAL ID：200903026550353924
窒化珪素質焼結体の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-118408
公開番号（公開出願番号）：特開平7-330435
出願日： 1994年05月31日
公開日（公表日）： 1995年12月19日
要約：
【要約】【構成】周期律表第3a族元素酸化物を1〜10モル%、酸化珪素を1〜20モル%、珪素、あるいは珪素と窒化珪素を窒化物換算で70モル%以上の割合からなり、前記周期律表第3a族元素酸化物がLuを主体とし、Lu以外の周期律表第3a族元素酸化物が全周期律表第3a族元素酸化物の7モル%以下であり、且つ周期律表第3a族元素酸化物に対する酸化珪素量のモル比が2未満である組成からなる成形体を800〜1500°Cの窒素含有雰囲気中で熱処理して前記珪素を窒化した後、さらに窒素を含む非酸化性雰囲気中で焼成し緻密化することを特徴とする。【効果】寸法精度が高く、室温から高温、特に1500°Cまでの強度劣化が小さく、且つ優れた高温耐クリープ特性を有する窒化珪素質焼結体を製造することができる。
請求項（抜粋）：
周期律表第3a族元素酸化物を1〜10モル%、酸化珪素を1〜20モル%、珪素、あるいは珪素と窒化珪素を窒化物換算で70モル%以上の割合からなり、前記周期律表第3a族元素酸化物がLuを主体とし、Lu以外の周期律表第3a族元素酸化物が全周期律表第3a族元素酸化物の7モル%以下であり、且つ前記周期律表第3a族元素酸化物に対する前記酸化珪素量のモル比が2未満である組成からなる成形体を800〜1500°Cの窒素含有雰囲気中で熱処理して前記珪素を窒化した後、さらに窒素を含む非酸化性雰囲気中で焼成し緻密化することを特徴とする窒化珪素質焼結体の製造方法。
FI (2件)：
C04B 35/58 102 C
, C04B 35/58 102 J
