特許
J-GLOBAL ID:200903026556167758
マイクロチップ基板の接合方法及びマイクロチップ
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-316220
公開番号(公開出願番号):特開2005-080569
出願日: 2003年09月09日
公開日(公表日): 2005年03月31日
要約:
【課題】表面に微細流路を有する基板であるマイクロチップ本体と、マイクロチップ本体と密着する平坦な面を有する蓋となる基板であるマイクロチップ蓋基板とを、微細流路の封鎖や、内壁の汚染がなく接合する方法とこの方法によって製造しうるマイクロチップを提供すること。【解決手段】表面に微細流路を有する基板であるマイクロチップ本体の流路が無い部分に有機溶剤をコートした後、該基板とマイクロチップ本体と密着する平坦な面を有する蓋となる基板であるマイクロチップ蓋基板とを重ね合わせて、融着することを特徴とするマイクロチップの接合方法。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
表面に微細流路を有する基板であるマイクロチップ本体の流路が無い部分に有機溶剤をコートした後、該基板とマイクロチップ本体と密着する平坦な面を有する蓋となる基板であるマイクロチップ蓋基板とを重ね合わせて、融着することを特徴とするマイクロチップの接合方法。
IPC (4件):
C12N15/09
, C12M1/00
, G01N33/53
, G01N37/00
FI (5件):
C12N15/00 F
, C12M1/00 A
, G01N33/53 T
, G01N37/00 101
, G01N37/00 102
Fターム (9件):
4B024AA11
, 4B024AA19
, 4B024CA01
, 4B024HA12
, 4B029AA07
, 4B029AA23
, 4B029BB20
, 4B029CC03
, 4B029FA15
引用特許:
引用文献:
審査官引用 (3件)
-
ファインケミカル, 2002, Vol.31.No.1, p.15-22
-
Sens.Actuators A., 2000, Vol.A84,No.1/2, p.103-108
-
電気学会論文誌E, 2002, Vol.122-E,No.3, p.172-178
前のページに戻る