特許
J-GLOBAL ID:200903026558823377
カーボンナノチューブデバイスおよびその製造方法、並びに、カーボンナノチューブ転写体
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (7件):
中村 智廣
, 成瀬 勝夫
, 小泉 雅裕
, 青谷 一雄
, 井出 哲郎
, 片岡 忠彦
, 鳥野 正司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-155416
公開番号(公開出願番号):特開2004-351602
出願日: 2003年05月30日
公開日(公表日): 2004年12月16日
要約:
【課題】カーボンナノチューブの電気的あるいは物理的な各種特性を効果的に生じさせることが可能なカーボンナノチューブデバイスおよびその製造方法を提供すること。【解決手段】基体12の表面に、少なくとも、複数のカーボンナノチューブが相互に架橋した網目構造を構成するカーボンナノチューブ構造体層14が、任意のパターンで形成されてなるカーボンナノチューブデバイス、並びに、基体12の表面に、官能基を有するカーボンナノチューブ、及び、前記官能基と架橋反応を起こす架橋剤を含む溶液を塗布する塗布工程と、塗布後の前記溶液を硬化して、前記複数のカーボンナノチューブが相互に架橋した網目構造を構成するカーボンナノチューブ構造体層14を形成する架橋工程と、カーボンナノチューブ構造体層14を所望のパターンにパターニングするパターニング工程と、を含むカーボンナノチューブデバイスの製造方法である。【選択図】 図9
請求項(抜粋):
基体の表面に、少なくとも、複数のカーボンナノチューブが相互に架橋した網目構造を構成するカーボンナノチューブ構造体層が、任意のパターンで形成されてなることを特徴とするカーボンナノチューブデバイス。
IPC (7件):
B82B1/00
, B82B3/00
, H01L21/28
, H01L21/3205
, H01L29/06
, H05K1/09
, H05K3/06
FI (8件):
B82B1/00
, B82B3/00
, H01L21/28 301Z
, H01L29/06 601N
, H05K1/09 Z
, H05K3/06 Z
, H01L21/88 M
, H01L29/28
Fターム (42件):
4E351AA06
, 4E351AA08
, 4E351BB01
, 4E351BB09
, 4E351BB31
, 4E351CC11
, 4E351DD29
, 4E351DD51
, 4E351EE03
, 4E351GG12
, 4M104AA01
, 4M104AA10
, 4M104BB36
, 4M104CC01
, 4M104DD22
, 4M104DD51
, 4M104DD64
, 4M104DD65
, 4M104DD71
, 4M104DD79
, 4M104FF11
, 4M104FF13
, 4M104GG19
, 4M104HH08
, 5E339BB10
, 5E339BC10
, 5E339BD12
, 5E339BE12
, 5E339CD01
, 5E339CF15
, 5F033GG03
, 5F033HH36
, 5F033MM05
, 5F033PP26
, 5F033QQ08
, 5F033QQ13
, 5F033QQ14
, 5F033QQ19
, 5F033QQ53
, 5F033QQ73
, 5F033VV08
, 5F033XX13
引用特許:
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