特許
J-GLOBAL ID：200903026562742934
超音波洗浄装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-046730
公開番号（公開出願番号）：特開平10-235303
出願日： 1997年02月28日
公開日（公表日）： 1998年09月08日
要約：
【要約】【課題】 この発明は被洗浄物を洗浄する洗浄液の温度を精度よく設定できるようにした超音波洗浄装置を提供することを目的とする。【解決手段】 超音波振動が付与された洗浄液で被洗浄物を洗浄する超音波洗浄装置において、上記洗浄液に超音波振動を付与する振動子3と、上記洗浄液の温度を調節する熱交換器7と、上記振動子を駆動する超音波発振器4と、上記振動子によって超音波振動が付与された洗浄液の音圧を検出する音圧センサ12と、上記洗浄液の温度を検出する温度センサ13と、上記音圧センサと上記温度センサとの検出信号によって上記熱交換器による洗浄液の温度および上記振動子を駆動する上記超音波発振器の出力を制御する制御装置14とを具備したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
超音波振動が付与された洗浄液で被洗浄物を洗浄する超音波洗浄装置において、上記洗浄液に超音波振動を付与する振動子と、上記洗浄液の温度を調節する温度調節手段と、上記振動子を駆動する超音波発振器と、上記振動子によって超音波振動が付与された洗浄液の音圧を検出する音圧センサと、上記洗浄液の温度を検出する温度センサと、上記音圧センサと上記温度センサとの検出信号によって上記温度調節手段による洗浄液の温度および上記振動子を駆動する上記超音波発振器の出力を制御する制御手段とを具備したことを特徴とする超音波洗浄装置。
IPC (4件)：
B08B 3/12
, B06B 1/00
, B08B 3/10
, H01L 21/304 341
B08B 3/12 A
, B06B 1/00
, B08B 3/10 Z
, H01L 21/304 341 M
