製造装置の運転支援システム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：春日讓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-339952
公開番号（公開出願番号）：特開平11-175142
出願日： 1997年12月10日
公開日（公表日）： 1999年07月02日
要約：

【要約】【課題】本発明の目的は、設備自動運転制御や監視をリアルタイムで行える製造装置の運転支援システムを提供することにある。【解決手段】コントローラ5は、複数の製造装置7a,,7nの状態を監視・制御する。処理実績サーバ3は、製造装置7からの処理実績データを管理する。マンマシンインターフェース10a,,10nは、複数の製造装置7a,,7nに対応して配置されており、コントローラ5に接続され、製造装置の処理実績が入力される。処理実績サーバ3、インターフェース10から入力される処理実績を、リアルタイムで収集する。

請求項（抜粋）：

複数の製造装置と、これらの製造装置に接続され、これらの製造装置の状態を監視・制御するコントローラと、上記製造装置からの処理実績データを管理する処理実績サーバと有する製造装置の運転支援システムにおいて、さらに、上記複数の製造装置に対応して配置されるとともに、上記コントローラに接続され、上記製造装置の処理実績を入力可能なインターフェースとを備え、上記処理実績サーバは、上記インターフェースから入力される処理実績を、上記コントローラを介して、リアルタイムで収集することを特徴とする製造装置の運転支援システム。

IPC (6件)：

G05B 23/02 301 , G05B 23/02 , B23P 21/00 307 , B23Q 41/08 , G06F 17/60 , H01L 21/02

FI (6件)：

G05B 23/02 301 V , G05B 23/02 V , B23P 21/00 307 Z , B23Q 41/08 Z , H01L 21/02 Z , G06F 15/21 R

引用特許：

審査官引用 (5件)

半導体ウェーハの生産方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-338987 出願人：山形日本電気株式会社
生産制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-079659 出願人：日本電装株式会社
スマートハブ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-057763 出願人：株式会社東芝

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