特許
J-GLOBAL ID：200903026578138867
研磨装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-240350
公開番号（公開出願番号）：特開平6-091522
出願日： 1992年09月09日
公開日（公表日）： 1994年04月05日
要約：
【要約】【目的】 被研磨部材にかかる圧力分布を均一にして、被研磨部材が研磨パッドに均一に加圧されるようにし、また、研磨後の被研磨部材の取り外しを容易にする。【構成】 外周部が下方に向かって突起している研磨ヘッド1にトップリング6を結合し、この結合部に張設リング(張設手段)11によって張力を与えられたダイヤフラム8を固定し、加圧室9が加圧されることで、ダイヤフラム8の下面に設けられた研磨プレート13に保持されたウエハ(被研磨部材)16を研磨パッド15側に加圧する。そして、加圧室9を加圧する流体圧を可変とし、研磨ヘッド1とトップリング6とダイヤフラム8とを一体的に昇降可能とする。
請求項（抜粋）：
外周部が下方に向かって突起している研磨ヘッドと、前記研磨ヘッドの外周部に固定されるトップリングと、前記研磨ヘッドと前記トップリングとの結合部に外周縁が挟まれて固定されたダイヤフラムと、前記研磨ヘッドと前記ダイヤフラムとで形成され、前記研磨ヘッドに開設された貫通孔を通して流体により加圧される加圧室と、前記ダイヤフラムの下面に設けられた研磨プレートとを有し、前記加圧室が加圧されることで、前記研磨プレートに保持された被研磨部材が研磨パッド側に加圧されることを特徴とする研磨装置。
IPC (3件)：
B24B 37/00
, B24B 37/04
, H01L 21/304 321
