特許
J-GLOBAL ID：200903026578420406
パターン検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-052094
公開番号（公開出願番号）：特開平5-302898
出願日： 1992年03月11日
公開日（公表日）： 1993年11月16日
要約：
【要約】【目的】 液晶パネル上に表示されるドットマトリックスパターン内で、全点灯時に消灯し全消灯時に点灯する逆点灯欠陥ドットを、他の断線欠陥ドット,短絡欠陥ドットと伴に検出を可能にする。【構成】 被検査物に発生させた全点灯パターンと全消灯パターンを光電変換スキャナ4で撮像し、A/D変換回路5でデジタル画像に変換し全点灯画像fと全消灯画像gを得る。全消灯画像gを反転回路8で反転し反転画像hを得る。比較回路9で比較画像iを得て、平滑化回路10で高周波成分が除去された平滑化画像jが得られる。2値化回路11で0と1の2値雅号kに変換し、全点灯の基準パターンcと論理積を画像切り出し回路12で行い、検査結果画像lを得る。ノイズ除去回路13で微小領域の除去を行い欠陥画像mを得る。領域抽出回路14で、面積と位置を求め欠陥信号nとして出力する。位置と面積から欠陥を求め、表示部の良否を判定回路15で決定する。
請求項（抜粋）：
被検査物に全点灯パターンを発生させる全点灯パターン発生回路と、前記被検査物に全消灯パターンを発生させる全消灯パターン発生回路と、前記全点灯パターン発生回路からの駆動信号により正常な全点灯表示パターンを発生させ記憶する基準パターンメモリ回路と、前記被検査物に発生させたパターンを撮像するための光電変換スキャナと、この光電変換スキャナから出力される映像信号を入力してデジタル信号を出力するA/D変換回路と、前記全点灯パターン発生回路で前記被検査物を駆動した時の前記A/D変換回路からのデジタル信号を記憶する全点灯画像メモリ回路と、前記全消灯パターン発生回路で前記被検査物を駆動した時の前記A/D変換回路からのA/D信号を記憶する全消灯画像メモリ回路と、前記全消灯画像メモリ回路の内容を反転する反転回路と、前記被検査物の全点灯パターンおよび全消灯パターンを比較するために前記反転回路の出力と全点灯画像メモリ回路の内容の論理和を出力する比較回路と、この比較結果画像の平滑化を行う平滑化回路と、この平滑化画像を“0”と“1”の2値に変換する2値化回路と、この2値画像からドト表示部だけ切り出しを行い欠陥を検出し検査結果画像として出力する画像切り出し回路と、この検査結果画像からノイズを除去し欠陥画像を出力するノイズ除去回路と、この欠陥画像から抽出した欠陥領域の面積と位置情報の欠陥信号を出力する領域抽出回路とを備えることを特徴とするパターン検査装置。
IPC (5件)：
G01N 21/88
, G01B 11/24
, G06F 15/62 405
, G06F 15/64
, G09G 3/36
