水晶振動子の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-339157
公開番号（公開出願番号）：特開平8-186458
出願日： 1994年12月29日
公開日（公表日）： 1996年07月16日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】薄い水晶板の厚み方向に分離した電極を容易に形成する。【構成】厚み方向に極性の異なる電極2を形成するエッチングの深さが水晶板1の厚み方向に数十ミクロン〜数百ミクロン残す様にし、更にエッチングにて分離する方法を用いることで目的を達成した。

請求項（抜粋）：

複数個を同時にエッチング法で外形を形成する水晶振動子の水晶板面の厚み方向のエッチング側面に、互いに極性の異なる電極が配置される水晶振動子の製造方法において、該水晶板の厚み方向にエッチングの残り部分を形成するエッチング工程と、該水晶板の少なくとも主面及び側面部に電極を形成する工程と、該エッチングの残り部分以外にレジストを施し、該エッチングの残り部分をエツチングして除去する工程と、該レジストを除去する工程とからなる水晶振動子の製造方法。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭61-013704
特開昭58-157211
特開昭61-189715

前のページに戻る