特許

J-GLOBAL ID：200903026582853406

軟磁性ターゲット材

発明者： 柳谷 彰彦 ,  相川 芳和
出願人/特許権者： 山陽特殊製鋼株式会社
代理人 (1件)： 椎名 彊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-011931
公開番号（公開出願番号）：特開2009-167529
出願日： 2009年01月22日
公開日（公表日）： 2009年07月30日
要約：

【課題】飽和磁束密度の大きいFe-Co系合金にAlまたはCrを0.2〜5at%添加した耐候性を向上させた軟磁性ターゲット材を提供する。【解決手段】厚さ5mm以上とするスパッタ性に優れたFe-Co系合金において、Fe:Coのat比が100:0〜30:70とし、B,Nb,Zr,Ta,Hf,Tiのいずれか1種または2種以上を30at%以下、かつ、AlまたはCrの1種または2種を0.2〜5at%含有させてなることを特徴とする軟磁性ターゲット材。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

厚さ5mm以上とするスパッタ性に優れたFe-Co系合金において、Fe:Coのat比が100:0〜30:70とし、B,Nb,Zr,Ta,Hf,Tiのいずれか1種または2種以上を30at%以下、かつ、AlまたはCrの1種または2種を0.2〜5at%含有させてなることを特徴とする軟磁性ターゲット材。

IPC (4件)：

C23C 14/34 ,  C22C 38/00 ,  C22C 19/07 ,  H01F 10/16

FI (4件)：

C23C14/34 A ,  C22C38/00 303S ,  C22C19/07 C ,  H01F10/16

Fターム (20件)：

4K018AA10 ,  4K018AA25 ,  4K018BA04 ,  4K018BA16 ,  4K018BB04 ,  4K018EA16 ,  4K018FA01 ,  4K018KA29 ,  4K018KA43 ,  4K029BA26 ,  4K029BC06 ,  4K029BD11 ,  4K029CA05 ,  4K029DC04 ,  4K029DC08 ,  4K029DC34 ,  4K029DC39 ,  5E049AA01 ,  5E049AA04 ,  5E049BA06

引用特許：

出願人引用 (1件)

• Fe-Co-B系合金ターゲット材、その製造方法、軟磁性膜および磁気記録媒体ならびにTMR素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-100406   出願人：日立金属株式会社

審査官引用 (4件)

• 磁気記録媒体、その製造方法、および磁気記録再生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-154448   出願人：昭和電工株式会社
• 磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録再生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-372064   出願人：昭和電工株式会社
• 磁気薄膜用ターゲット材およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-274446   出願人：日立金属株式会社
• 特開昭63-100149