特許

J-GLOBAL ID：200903026585390970

化学気相成長装置

発明者： 蔦原 晃一郎 ,  山口 徹
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-272822
公開番号（公開出願番号）：特開平6-124895
出願日： 1992年10月12日
公開日（公表日）： 1994年05月06日
要約：

【要約】【目的】 作業効率をあげるとともに歩止まりを向上させることが可能な化学気相成長装置を得る。【構成】 常温で液体であるTEOS4を所定量送出する液体マスフローコントローラと、送出されたTEOS4を所定の温度に加熱し気化する気化器9とを連結する配管に、地面に対し垂直上方向に設けられる測定用配管17、測定用配管17の長手方向に所定距離を隔てて設けられ、測定用配管17内の液面が所定距離を通過する時間を検出する一対の液面検出用センサー19、20を備える。

請求項（抜粋）：

常温で液体である反応材料を所定量送出する送出手段と、送出された上記反応材料を所定の温度に加熱し気化する加熱気化手段と、加熱気化された上記反応材料と他の供給系より所定量供給された気体の反応材料とを混合させ、均一に基板に吹き付け薄膜を形成する成膜手段とを有する化学気相成長装置において、上記送出手段と上記加熱気化手段とを連結する配管に、地面に対し垂直上方向に設けられる測定用配管、上記測定用配管の長手方向に所定距離を隔てて設けられ、上記測定用配管内の液面が上記所定距離を通過する時間を検出する少なくとも一対の液面検出用センサーを有することを特徴とする化学気相成長装置。