特許

J-GLOBAL ID：200903026595432124

容量型絶対圧測定センサおよび複数の容量型絶対圧測定センサを製造する方法

発明者： フィリップ・ルノー
出願人/特許権者： セー エス ウー エム・サントル・スイス・デレクトロニク・エ・ドゥ・ミクロテクニク・エス アー・ルシェルシュ・エ・デヴェロプマン
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-037517
公開番号（公開出願番号）：特開平6-249733
出願日： 1994年02月14日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：

【要約】【目的】 容量型絶対圧測定センサおよび複数の容量型絶対圧測定センサを製造する方法を得ることである。【構成】 内部に可動電極(4)が配置される第1の要素(2)と、前記可動電極(4)から絶縁されてその電極に向き合って配置させられる固定電極(8)が内部に配置される第2の要素(6)と、第1の要素と第2の要素の間に置かれて、外部環境から絶縁された、内部圧がほぼ零であるようなチャンバ(12)を形成する連結フレーム(10)と、前記チャンバに隣接する基準容積(14)とを備える容量型絶対圧測定センサであって、第1の要素(2)はほぼ一定厚さである膜の形態を有し、前記基準容積(14)は第2の要素(6)の内部に少なくとも部分的に配置されることを特徴とする容量型絶対圧測定センサ装置。

請求項（抜粋）：

可動電極(4)が形成される第1の要素(2)と、前記可動電極(4)から絶縁されてその電極に向き合って位置させられる固定電極(8)が形成される第2の要素(6)と、第1の要素と第2の要素の間に置かれて、外部環境から絶縁され、内部圧がほぼ零であるようなチャンバ(12)を形成する連結フレーム(10)と、前記チャンバに隣接する基準容積(14)とを備える容量型絶対圧測定センサであって、第1の要素(2)はほぼ一定厚さである膜の形態を有し、前記基準容積(14)は第2の要素(6)の内部に少なくとも部分的に配置されることを特徴とする容量型絶対圧測定センサ装置。

IPC (3件)：

G01L 9/12 ,  G01L 7/00 ,  H01L 29/84