特許
J-GLOBAL ID：200903026595704671
物体の位置決め装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平田 忠雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-124197
公開番号（公開出願番号）：特開2000-315113
出願日： 1999年04月30日
公開日（公表日）： 2000年11月14日
要約：
【要約】【課題】 製造コストおよびメンテナンスのコストの増加を抑えながら第1の物体への第2の物体の位置決め精度の向上を図る物体位置決め装置を提供すること。【解決手段】 半導体ウェハ1に形成された半導体素子のランドに半田ボールを位置決めするとき、最初にカメラ8とカメラ7によってランドと半田ボールの位置と姿勢を検出し、その検出結果に基づいてX軸キャリア5とY軸キャリア12を移動させ、回転テーブルを回転させる。次に、Z軸キャリア10を移動させてランド上に半田ボールをマウントする。次に、カメラ8によって半田ボールの位置ずれを検出し、それをオフセットメモリ14bにストアする。次に、他の半導体ウェハ1のランドに半田ボールをマウントするとき、カメラ8とカメラ7の検出結果とメモリ14bにストアした位置ずれとに基づいてX軸キャリアとY軸キャリア12の移動量と、回転テーブル3の回転量を演算する。これによって、位置ずれのない半田ボールのマウントができる。
請求項（抜粋）：
第1の物体の所定の位置に第2の物体を位置決めする物体の位置決め装置において、X軸上を移動するX軸キャリアによって搬送される前記第1の物体の少なくとも2点の検出により前記第1の物体の前記X軸キャリア上の位置と姿勢を検出する第1の検出手段と、Y軸上を移動するY軸キャリアに搬送される前記第2の物体の少なくとも2点の検出により前記第2の位置と姿勢を検出する第2の検出手段と、前記第1の物体の所定の位置に位置決めされた前記第2の物体の位置ずれを前記第1および第2の物体の少なくとも2点の検出により検出する第3の検出手段と、前記X軸キャリアあるいは前記Y軸キャリアをZ軸の方向に移動させるZ軸キャリアと、前記Z軸あるいはそれと平行な軸の周りで回転し、前記X軸キャリアあるいは前記Y軸キャリアに設けられて前記第1あるいは第2の物体の姿勢を変える回転テーブルと、前記第1および第2の検出手段から前記第1および第2の物体の位置と姿勢を入力し、所定の演算を前記第1および第2の物体の位置と姿勢に施して前記第1の物体の所定の位置に前記第2の物体を位置決めするのに必要な前記X軸キャリアおよび前記Y軸キャリアの移動量と前記回転テーブルの回転量を算出し、前記移動量に基づいて前記X軸キャリアおよび前記Y軸キャリアを移動させるとともに前記回転量に基づいて前記回転テーブルを回転させ、この後前記Z軸キャリアを所定の移動量だけ移動させて前記第1の物体の所定の位置に前記第2の物体を位置決めする演算制御手段を備え、前記演算制御手段は、前記第3の検出手段から前記位置ずれ量を入力して前記位置ずれ量を記憶する記憶手段を備え、前記演算制御手段は、前記記憶手段に前記位置ずれ量を記憶させた後、他の第1の物体の所定の位置に他の第2の物体を位置決めするとき、前記X軸キャリアおよび前記Y軸キャリアの移動量と前記回転テーブルの回転量の算出に前記記憶手段から読み出した前記位置ずれ量を組み入れることを特徴とする物体の位置決め装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G05D 3/12 K
, G05D 3/00 Q
5H303AA06
, 5H303BB03
, 5H303BB09
, 5H303CC01
, 5H303DD01
, 5H303EE03
, 5H303EE07
, 5H303FF06
, 5H303FF12
, 5H303FF14
, 5H303FF20
, 5H303GG14
, 5H303GG20
, 5H303HH02
, 5H303HH09
, 5H303KK22
, 5H303LL03
