特許

J-GLOBAL ID：200903026601486835

フレネルレンズ及びその製造方法

発明者： 小木 勝実 ,  米澤 政 ,  曽山 信幸
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-099741
公開番号（公開出願番号）：特開平7-306306
出願日： 1994年05月13日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：

【要約】【目的】 高集光効率で耐久性に優れ、しかも製造が容易なフレネルレンズを提供する。【構成】 基板上に金属酸化物薄膜のフレネルレンズ用パターンを形成したフレネルレンズ。基板上に加水分解性金属化合物と、活性線の照射により水を遊離する感光剤とを含有する組成物を塗布して塗膜を形成し、この塗膜を活性線で画像形成露光し、溶媒で現像して未露光部を除去した後、熱処理して露光部の膜を金属酸化物に変換させてフレネルレンズパターンを形成する。【効果】 ゾルーゲル法を利用して、フレネルレンズパターンを形成することができるので、製造工程の短縮化と高能率化が図れる。屈折率差が大きく集光効率、耐久性に優れたフレネルレンズが提供される。

請求項（抜粋）：

基板上に所定パターンの薄膜を形成してなるフレネルレンズにおいて、該薄膜が金属酸化物薄膜であることを特徴とするフレネルレンズ。