特許

J-GLOBAL ID：200903026607641018

真空チャック

発明者： 安永 暢男 ,  阿部 耕三
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 矢葺 知之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-090665
公開番号（公開出願番号）：特開平5-285761
出願日： 1992年04月10日
公開日（公表日）： 1993年11月02日
要約：

【要約】【目的】 吸引によるワークの変形を防ぎ、清浄なチャック面を維持することできる真空チャックを提供する。【構成】 チャックベース1の表面2上に1層で配列され、チャックベース表面2に接合された多数の球体6または上面が平面となった割球体6によりチャック面が形成されている。隣り合う球体6または割球体6の間隙が吸気孔8を形成する。

請求項（抜粋）：

真空チャックのチャックベース表面上に1層で配列され、チャックベース表面に接合された多数の球体または上面が平面となった割球体によりチャック面が形成されていることを特徴とする真空チャック。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-265893
  
• 特開昭57-201887
  
• 特開昭49-038693