特許
J-GLOBAL ID:200903026610461624
セラミック素子
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
千葉 剛宏 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-356691
公開番号(公開出願番号):特開2000-183414
出願日: 1998年12月15日
公開日(公表日): 2000年06月30日
要約:
【要約】【課題】アクチュエータ部の変位に伴う絶縁層の剥離現象の発生を抑制して、絶縁破壊耐性及び短絡現象の発生を防止し、セラミック素子を用いた各種電子部品の高信頼性化を図る。【解決手段】印加電界に応じて一主面に対して法線方向に変位する形状保持層24と、該形状保持層24に形成された少なくとも一対の電極28a及び28bとを有するアクチュエータ部14とを具備したセラミック素子10において、一対の電極28(一方の電極28a及び他方の電極28b)を覆うように柔軟性を有する絶縁層30を形成して構成する。
請求項(抜粋):
形状保持層と、該形状保持層に形成された少なくとも一対の電極とを有する圧電/電歪部とを具備したセラミック素子において、前記一対の電極を覆うように柔軟性を有する絶縁層が形成されていることを特徴とするセラミック素子。
IPC (2件):
FI (2件):
H01L 41/08 J
, H01L 41/08 Z
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