特許

J-GLOBAL ID：200903026613866161

原子間力顕微鏡

発明者： アブラハム・デヴィッド・ウィリアム ,  マーティン・パトリック・オーボイル
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 頓宮 孝一 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-061519
公開番号（公開出願番号）：特開平6-026855
出願日： 1993年03月22日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：

【要約】【目的】 表面電位、容量、トポグラフィカルな測定が可能な、カンチレバー・ビーム・プローブ原子間力顕微鏡を提供する。【構成】 第一の機械的共振周波数を示す第一部分14と、異なった第二の機械的共振周波数を示す第二部分16とから成るプローブ・ビーム12を備える。アクチュエータ20は、第一の共振周波数でプローブ・ビーム12に振動を生じさせる。発振器34は、第二の共振周波数に等しい周波数を持つ信号をプローブ・ビーム12に与える。プローブ・ビーム12と試料28との電位の差により、プローブ・ビーム12を振動させる力が発生する。プローブ・ビーム12は試料28と平行に試料の表面上を移動する。光ヘテロダイン装置は、第一および第二共振周波数の双方でプローブ・ビーム12の動きを検出し、プローブ・ビーム12の第二部分16の第二共振周波数運動を示す出力信号を与える。

請求項（抜粋）：

試料上で原子間力と表面電位を測定する原子間力顕微鏡において、機械的共振周波数f1 を示す第一部分と、機械的共振周波数f2 を示す第二部分との2つの部分から成る導電性プローブ・ビームと、前記プローブ・ビームに機械的に結合され、前記周波数f1 で前記プローブ・ビームを振動させるアクチュエータ手段と、前記プローブ・ビームに電気的に接続され、周波数f2 の信号を供給する発振器手段と、前記試料の表面を横切る方向に、前記試料と前記プローブ・ビームとの間の相対運動を生起させる手段と、前記試料の表面に直交する前記プローブ・ビームの動きを検出し、前記プローブ・ビームの前記第二部分の動きを示す出力信号を供給する手段と、を備えることを特徴とする原子間力顕微鏡。

IPC (2件)：

G01B 21/30 ,  H01J 37/28