特許
J-GLOBAL ID：200903026614348490
原子間力顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
阿部 龍吉 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-267059
公開番号（公開出願番号）：特開平6-117847
出願日： 1992年10月06日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：
【要約】【目的】 電子顕微鏡に容易にアタッチメントとして組み込むことができ、安価で小型化が可能な原子間力顕微鏡を提供することを目的とするものである。【構成】 バネ体で支持した探針8に試料7を接近させた時の探針8と試料7との間に作用する原子間力によるバネ体の変位を検出し試料の表面観察を行う原子間力顕微鏡において、バネ体に取り付けられる受光部材9、該受光部材9に量子線2を照射する量子線照射手段1、及び受光部材9の量子線照射位置の変化を検出する検出手段3、10を備え、受光部材9に量子線2を照射して量子線照射位置の変化を検出する。この構成により、バネ体に小さな受光部材9を取り付けるだけでよいので、装置の小型化ができ、電子顕微鏡等のアタッチメントとして容易に組み込むことができる。しかも、電子顕微鏡の電子照射機構と反射電子や二次電子、透過電子、回折電子等の検出器をそのまま利用して変位を検出し原子間力顕微鏡による試料像を観察することができる。
請求項（抜粋）：
バネ体で支持した探針に試料を接近させた時の探針と試料との間に作用する原子間力によるバネ体の変位を検出し試料の表面観察を行う原子間力顕微鏡において、バネ体に取り付けられる受光部材、該受光部材に量子線を照射する量子線照射手段、及び受光部材の量子線照射位置の変化を検出する検出手段を備え、受光部材に量子線を照射して量子線照射位置の変化をを検出するように構成したことを特徴とする原子間力顕微鏡。
IPC (2件)：
引用特許：
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