特許
J-GLOBAL ID:200903026616807379
放電セル及びその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴木 晴敏
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-059664
公開番号(公開出願番号):特開平6-251719
出願日: 1993年02月24日
公開日(公表日): 1994年09月09日
要約:
【要約】【目的】 放電セルの電極位置ずれ許容度を大きくし製造を容易にする。【構成】 放電セルは、一方の基板1と所定の空隙を介して該一方の基板1に接合した他方の基板2とからなるフラットパネル構造を有している。一方の基板1の上にはストライプ状の陽極A及び陰極Kが交互に配列している。又、隔壁4が両基板1,2間に介在しており、ストライプ状に配列して基板間空隙を区画し放電チャネル5を形成する。陽極Aは隔壁4の直下に配置され且つ隔壁4の幅寸法より広い幅寸法を有する。一方陰極Kは隣り合う隔壁4の中間に配置されている。隔壁4が相対的に位置ずれしても、プラズマ放電を支配する陰極Kの露出表面積は一定に保たれる。
請求項(抜粋):
一方の基板と、その上に交互に配列したストライプ状の陽極及び陰極と、所定の空隙を介して該一方の基板に接合した他方の基板と、両基板間に介在し且つストライプ状に配列して該空隙を区画し放電チャネルを形成する隔壁とを備えた放電セルであって、前記陽極は隔壁の直下に配置され且つ隔壁の幅寸法より広い幅寸法を有し、前記陰極は隣り合う隔壁の中間に配置されている事を特徴とする放電セル。
IPC (5件):
H01J 17/16
, G02F 1/1333
, H01J 9/24
, H01J 17/49
, G02F 1/133 505
引用特許:
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