特許
J-GLOBAL ID：200903026619227136
電界検出装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井出 直孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-198552
公開番号（公開出願番号）：特開平7-055849
出願日： 1993年08月10日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：
【要約】【目的】 電界の印加により光学的特性が変化する電気光学素子(1)を被測定回路基板(2)に近接して配置し、その光学的特性の変化を光ビーム(100)により測定する装置において、高い周波数でも共振することなく安定に被測定回路基板(2)上の電極(3)の電圧を測定する。【構成】 電気光学素子(1)の上面に補助電極(5)を設け、それを電気光学素子(1)を取り囲むように設けた導電性の筐体(6、8)を介して被測定回路基板(2)の基準電極(4)に接続する。【効果】 測定対象の電極(3)と基準電極(4)との間の電圧が電気光学素子(1)に有効に印加されるので高い感度が得られ、しかも基準電圧に対する電極電圧を電極の幾何学的配置によらず測定できる。また、共振周波数を大きくできるので、測定可能な周波数帯域を拡大できる。さらに、外来電界の影響を除去できる。
請求項（抜粋）：
被測定回路基板に近接して配置可能な形状であって、その被測定回路基板に設けられた被測定電極からの電界により光学特性が変化する素子と、この素子の少なくともひとつの面に設けられた補助電極とを備えた電界検出装置において、被測定回路基板の基準電極に電気的に接続されて上記素子には接することなくその素子を取り囲む導電性の筐体と、この筐体に上記補助電極を電気的に接続する接続手段とを備えたことを特徴とする電界検出装置。
IPC (4件)：
G01R 19/00
, G01R 29/08
, G01R 31/302
, H01L 21/66
