特許
J-GLOBAL ID：200903026619473471
イオン加速装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
八木田 茂 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-164642
公開番号（公開出願番号）：特開平6-005239
出願日： 1992年06月23日
公開日（公表日）： 1994年01月14日
要約：
【要約】【目的】 真空排気管から発生するX線のエネルギを低くし、容易に遮蔽され、外部に漏れ出るX線量を低減すること。【構成】 真空排気管12の内部に、絶縁材21に接着して取付けられ且つ中央部に孔を有する複数個の電極22を取付け、一側(左側)をグランド側取付フランジ23を介してポンプ接続管15に接続し、他側(右側)を高電圧側取付フランジ24を介して排気管13に接続している。上記真空排気管12の各電極22にそれぞれ永久磁石31を取付け、電極中央部の孔の領域に電極22と同じ面内方向に磁場を形成している。上記の磁場により、各電極間で加速される電子の軌道を偏向し、高いエネルギで衝突する際に発生するX線を低減させる。
請求項（抜粋）：
内部にイオン源を有する高電圧ターミナルとその回りを囲繞するグランド電位のシールドボックスとの間に、イオン源内部を排気するための真空排気管を有するイオン加速装置において、上記真空排気管の電極に磁石を取付け、電極中央部の孔の領域に電極と同じ面内方向に磁場を形成するようにしたことを特徴とするイオン加速装置。
IPC (4件)：
H01J 37/08
, H01J 37/317
, H01L 21/265
, H05H 5/02
