特許

J-GLOBAL ID：200903026620797957

液晶カラーフィルター検査装置

発明者： 六角 正 ,  栗田 耕一 ,  大宅 一浩
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 坂間 暁 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-067040
公開番号（公開出願番号）：特開平7-280522
出願日： 1994年04月05日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：

【要約】【目的】 液晶ガラス基板のカラーフィルター部の高さを正確に計る検査装置を得る。【構成】 カラーフィルターを施工した液晶ガラス基板1をセットする穴を持つテーブル2、同テーブルの前後および左右移動手段と、液晶ガラス基板の上方および下方に配置された第1および第2の測距センサ20,21、同第1および第2の測距センサの出力を受け液晶ガラス基板上のカラーフィルター部の高さを算出する演算手段とを設ける。

請求項（抜粋）：

カラーフィルターを施工した液晶ガラス基板をセットする穴を持つテーブルと、同テーブルの前後および左右移動手段と、上記液晶ガラス基板の上方および下方に配置され、かつ同液晶ガラス基板にほぼ垂直な軸に同軸に設けられた第1および第2の測距手段と、同第1および第2の測距手段の出力を受け上記液晶ガラス基板上のカラーフィルター部の高さを算出する演算手段とを備えてなることを特徴とする液晶カラーフィルター検査装置。

IPC (4件)：

G01B 11/02 ,  G01M 11/00 ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505