特許

J-GLOBAL ID：200903026624779821

大きな漏れを検出するための装置及び方法

発明者： デビッド・ジー・マホニー ,  グレン・イー・ルイズ ,  ジャック・ダブリュ・ファーマー ,  トーマス・ピー・プランツ ,  ウィリアム・デー・ホール ,  ロイ・エフ・パーソン
出願人/特許権者： バリアン・アソシエイツ・インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 竹内 澄夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-167533
公開番号（公開出願番号）：特開平7-146199
出願日： 1994年06月28日
公開日（公表日）： 1995年06月06日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】検査部分で大きな漏れを検出するために使用される非ヘリウム膨張検査技術を提供する。【構成】この技術は検査部分においてヘリウム又はその他のトレースガスを要しない。また、ヘリウム質量分析計漏れ検出器で好適に使用され、漏れ率の広範囲にわたって漏れ検出ができる。検査部分が、密封された検査固定部に配置され、検査固定部と膨張チャンバとの間の弁が開放される。膨張チャンバの圧力は、弁が開放された後に計測される。計測圧力が基準圧力以下のとき、検査部分が密封されていることが指示される。計測された圧力が基準圧力以上のとき、検査部分に漏れがあることが指示される。検査部分の密封が指示されると、ヘリウム質量分析計漏れ検査が行われ、検査部分での小さな漏れの圧力を決定する。大気圧グロスリーク検査が非ヘリウム膨張漏れ検査と同時にされ、ヘリウムが検査時に検査部分に残るという状況で大きな漏れを検出する。

請求項（抜粋）：

検査部分の漏れ検査のための装置であって、検査部分の、密封可能な封入物のための検査固定部と、ガスコンジットによって前記検査固定部に接続された膨張チャンバと、前記検査固定部と前記膨張チャンバとの間の前記ガスコンジットに接続した膨張弁と、前記膨張弁を閉じたままで前記膨張チャンバを真空排気させるための手段と、検査部分を前記検査固定部に密封したままで前記膨張弁を開放するための手段であって、前記検査固定部のガスが真空排気された膨張チャンバに拡張され、前記膨張チャンバが検査チャンバを画成する、ところの手段と、前記膨張弁が開放された後、前記検査チャンバの圧力を計測するための手段と、計測された圧力と基準圧力とを比較するための手段であって、計測された圧力が、検査部分の漏れを指示する基準値よりも大きいか又は等しい、ところの手段とから成る、装置。

IPC (2件)：

G01M 3/00 ,  G01M 3/26