特許
J-GLOBAL ID：200903026629266148
多層膜干渉フィルタおよびそれを用いた赤外線ガス分析計
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-050483
公開番号（公開出願番号）：特開平11-248934
出願日： 1998年03月03日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：
【要約】【課題】ファブリーペロー型のDHW型多層膜干渉フィルタの中間層を可変ギャップとしたフィルタにより波長の選択と光の断続を行うことのできる多層膜干渉フィルタを提供する。【解決手段】ファブリーペロー型の干渉フィルタであって、片方の面に形成された多層膜が対向するように平行に配置された一対の支持基板と、この一対の支持基板の間に、前記多層膜とは所定のギャップ間隔を保って配置された中間多層膜と、外力により前記ギャップ間隔を変化させるギャップ可変制御手段を備える。
請求項（抜粋）：
ファブリーペロー型の干渉フィルタであって、片方の面に多層膜が形成され、その多層膜が対向するように平行に配置された一対の支持基板と、この一対の支持基板の間に、前記多層膜とは所定のギャップ間隔を保って配置された中間多層膜と、外力により前記ギャップ間隔を変化させるギャップ可変制御手段を備えたことを特徴とする多層膜干渉フィルタ。
IPC (4件)：
G02B 5/28
, G01J 3/26
, G01J 3/42
, G01N 21/61
G02B 5/28
, G01J 3/26
, G01J 3/42 U
, G01N 21/61
