特許
J-GLOBAL ID：200903026638585566
基板検査装置および検査方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-021721
公開番号（公開出願番号）：特開2004-233183
出願日： 2003年01月30日
公開日（公表日）： 2004年08月19日
要約：
【課題】基板上の着色膜に生じる帯状の濃度変動を非常に感度良く捕らえ、その程度に応じて良否判定を行う検査装置および検査方法を提供すること。さらに、2方向のムラを検査する装置および方法を提供すること。【解決手段】基板上の着色膜を撮像し、この画像の同じX座標に属する全画素の濃度値を加算することによって、1次元のX方向のプロジェクションデータを作成し、さらに、この画像の同じY座標に属する全画素の濃度値を加算することによって、1次元のY方向のプロジェクションデータを作成し、これらのプロジェクションデータを基準プロジェクションデータと比較することを行う基板検査装置を提供する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
エリアCCD撮像素子をもつカメラと、撮像レンズと、基板を把持するステージと、基板の任意の一部分を撮像可能となるように前記カメラおよびステージとを相対移動可能な第1の駆動手段およびその制御手段と、前記ステージおよびカメラとの距離を相対変化可能な第2の駆動手段およびその制御手段、前記基板を照明する照明手段と、前記カメラのシャッターを制御する制御手段と、前記カメラから得られた画像を蓄積、保存する記録手段と、1次元のX、Y方向プロジェクションデータを作成する画像処理手段と、前記プロジェクションデータを基準として良否判定を行う判定手段によって構成されていることを特徴とする基板検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N21/88 J
, G01M11/00 T
2G051AA90
, 2G051AB12
, 2G051AC15
, 2G051CA04
, 2G051CB01
, 2G051CC07
, 2G051CC09
, 2G051DA07
, 2G051EA08
, 2G051EA12
, 2G051EA23
, 2G051EB01
, 2G051EC03
, 2G051ED07
, 2G086EE05
, 2G086EE12
出願人引用 (6件)
全件表示
審査官引用 (6件)
全件表示
前のページに戻る
