特許

J-GLOBAL ID：200903026639765452

外観検査装置及びそれを用いたプリント配線板の外観検査方法

発明者： 遠藤 昌希
出願人/特許権者： イビデン株式会社
代理人 (1件)： 恩田 博宣 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-260900
公開番号（公開出願番号）：特開2002-071578
出願日： 2000年08月30日
公開日（公表日）： 2002年03月08日
要約：

【要約】【課題】 汎用性が高くてしかも検査精度に優れた外観検査装置を提供すること。【解決手段】 この外観検査装置1は、被検査体2の表面における被検査部位3,4を撮像する撮像手段5と、被検査部位3,4に光を照射する第1照明6,第2照明7とを備える。第2照明7は、第1照明6よりも照射角度が高い。切換手段8a,11,15は、両照明6,7を被検査部位3,4の形状的性質に応じて選択的に切り換える。被検査部位3,4の良否は、撮像手段5により得られた画像を処理することにより検査される。

請求項（抜粋）：

被検査体の表面における被検査部位を撮像する撮像手段と、前記被検査部位に光を照射する照明とを備え、前記撮像手段により得られた画像を処理して前記被検査部位の良否を検査する外観検査装置において、第1照明と、前記第1照明よりも照射角度の高い第2照明と、前記両照明を前記被検査部位の形状的性質に応じて選択的に切り換える切換手段とを備えたことを特徴とする外観検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/956 ,  G01N 21/84 ,  H05K 3/00

FI (3件)：

G01N 21/956 B ,  G01N 21/84 E ,  H05K 3/00 Q

Fターム (12件)：

2G051AA65 ,  2G051AB20 ,  2G051AC01 ,  2G051BA01 ,  2G051BA02 ,  2G051BB02 ,  2G051BB11 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CC11 ,  2G051DA07

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-113259
  
• 表面欠陥検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-320747   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 小型配線基板の金パッド検出光学系
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-214907   出願人：日立電子エンジニアリング株式会社
• 特開平4-113259