特許

J-GLOBAL ID：200903026643187595

窒化珪素質焼結体の製造方法

発明者： 佐藤 政宏 ,  福留 武郎 ,  浜田 紀彰
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-236509
公開番号（公開出願番号）：特開平8-104570
出願日： 1994年09月30日
公開日（公表日）： 1996年04月23日
要約：

【要約】【構成】窒化珪素を主成分とし、添加成分として少なくとも周期律表第3a族元素酸化物、酸化アルミニウムを含み、さらに平均粒径が3μm以下のタングステン化合物(ただし、Wの珪化物を除く)をWSi2 換算で全量中0.5〜10重量%の割合で含む成形体を10torr以下の減圧中、800°C〜1400°Cの温度で加熱して平均粒径3μm以下のWSi2 を生成させた後、これを非酸化性雰囲気中で焼成する。【効果】W化合物の窒化珪素や酸化珪素との反応による焼結体への悪影響を低減し、焼結体中にWSi2 を微細に分散することができ、しかも安価な原料を用いて、室温から1000°Cまで高強度の焼結体を作製することができる。

請求項（抜粋）：

窒化珪素を主成分とし、添加成分として少なくとも周期律表第3a族元素酸化物、酸化アルミニウムを含み、さらに平均粒径が3μm以下のタングステン化合物(ただし、Wの珪化物を除く)をWSi2 換算で全量中0.5〜10重量%の割合で含む成形体を10torr以下の減圧中、800°C〜1400°Cの温度で加熱して平均粒径3μm以下のWSi2 を生成させた後、これを非酸化性雰囲気中で焼成することを特徴とする窒化珪素質焼結体の製造方法。