特許
J-GLOBAL ID：200903026643492703
感光性ポリイミド前駆体組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-111667
公開番号（公開出願番号）：特開平6-324491
出願日： 1993年05月13日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：
【要約】【構成】本発明は、ポリイミド前駆体、エチレン性不飽和二重結合および、アミノ基および/またはアミド基を有する化合物、特定のオキシム化合物を含有する感光性ポリイミド前駆体組成物に関する。【効果】本発明における感光性ポリイミド前駆体組成物は容易に製造でき、かつ、ポジ型、ネガ型ともに優れた機能を有するので有用である。さらに現像後、キュアすることにより、性能が優れたポリイミド被膜を得ることができた。
請求項（抜粋）：
(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマ(A)、【化1】(ただし、式中R1 は少なくとも2個の炭素原子を有する3価または4価の有機基、R2 は少なくとも2個の炭素原子を有する2価の有機基、R3 は水素、アルカリ金属イオン、アンモニウムイオンまたは炭素数1〜30の有機基を表す。nは1または2である。)(b)エチレン性不飽和二重結合および、アミノ基および/またはアミド基を有する化合物(B)、および(c)一般式(2)で表されるオキシム化合物(C)【化2】(ただし、式中R4 、R5 は炭素数1〜20の有機基、R6 は少なくとも2個の炭素原子を有する2〜4価の有機基、mは2〜4である。)を含有することを特徴とする感光性ポリイミド前駆体組成物。
IPC (7件)：
G03F 7/038 504
, G03F 7/038 501
, C08K 5/16
, C08L 79/08 LRB
, G03F 7/027
, G03F 7/028
, H01L 21/027
