特許

J-GLOBAL ID：200903026647106239

回転量検出装置

発明者： 平地 和幸
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-354664
公開番号（公開出願番号）：特開平6-186004
出願日： 1992年12月15日
公開日（公表日）： 1994年07月08日
要約：

【要約】【目的】本発明は、回転量検出装置において、回転量を雰囲気の変化による計測誤差なく高い検出精度で検出する。【構成】所定の光路差を有する2光束を反射面に照射し、その反射光によつて回転量を測定する2組の回転量検出系を任意の直線に対して互いに線対称となるように配設し、各計測系の計測結果の相加平均を求める。これにより計測結果に含まれる計測誤差は打ち消され、誤差のない正確な回転角の算出が実現される。

請求項（抜粋）：

平面内を移動するステージに設けられた反射面に対して所定の光路長差を有する2光束を照射し、該2光束の前記反射面からの反射光に基づいて、前記ステージの前記移動に伴う前記平面内での回転量を検出する回転量検出系を有する回転量検出装置において、任意の直線に対して前記回転量検出系と対称に配置されるとともに、第2の反射面に対して前記所定の光路長差と同一の光路長差を有する第2の2光束を照射する第2の回転量検出系を具え、前記回転量検出系による検出結果と前記第2の回転量検出系による検出結果とに基づいて前記光路長差による前記回転量の検出誤差を補正することを特徴とする回転量検出装置。