特許

J-GLOBAL ID：200903026657744543

透明導電膜のエッチング液組成物

発明者： 宮崎 正男 ,  石川 典夫 ,  森 清人
出願人/特許権者： 関東化学株式会社
代理人 (1件)： 南 孝夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-325694
公開番号（公開出願番号）：特開平7-141932
出願日： 1993年11月18日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：

【要約】【構成】 本発明は、酸化インジウム錫膜(ITO膜)よりなる透明導電膜のエッチング液組成物に関するものであって、ドデシルベンゼンスルホン酸としゅう酸と水よりなることを特徴とする。【効果】 このエッチング液組成物は、従来からITOエッチング液として使用されてきたしゅう酸水溶液で起こるエッチング残渣の問題を解決した。

請求項（抜粋）：

ドデシルベンゼンスルホン酸としゅう酸と水を配合してなることを特徴とする酸化インジウム錫膜用のエッチング液組成物。

IPC (6件)：

H01B 13/00 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/308 ,  C23F 1/30 ,  G02F 1/1343 ,  H05B 33/28