特許

J-GLOBAL ID：200903026658727189

環境センサとその製造方法

発明者： ドナルド・イー・アックレイ ,  ミカエル・リアク ,  チャン-ロン・シェ
出願人/特許権者： モトローラ・インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 大貫 進介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-042080
公開番号（公開出願番号）：特開平9-218157
出願日： 1996年02月05日
公開日（公表日）： 1997年08月19日
要約：

【要約】【課題】 製造が容易で、製造コストが低く、応答時間の制御性がよく、しかも多数のセンサ素子をアレイ状に形成可能な環境センサを提供する。【解決手段】 周囲環境における化学物質や変化を検出するセンサ(10,30,40,50,70)は、化学指示薬を含むゾル・ゲル・センサ素子(14,16,17,54,56,57)を利用する。基板(11,51)に溝(12,13,24,52,53)を形成する。溝は、化学指示薬を有するゾル・ゲル物質で充填され、ゾル・ゲルを硬化させて基板(11,51)に接着させる。溝(12,13,24,52,53)は、光ファイバ・ケーブル(46)のゾル・ゲル・センサ素子への光学的結合を容易とするように形成される。光は光ファイバ・ケーブル(46)からゾル・ゲル・センサ素子(14,16,17、54,56,57)に結合される。

請求項（抜粋）：

環境センサであって:表面を有する基板(11;51);前記表面上の複数の平行溝(12,13,24;52,53,54);および前記複数の平行溝の各溝内に配されたゾル・ゲル・センサ素子(14,16,18;54,56,57)から成ることを特徴とする環境センサ。

IPC (5件)：

G01N 21/77 ,  G01N 21/27 ,  G01N 21/64 ,  G01N 21/78 ,  G02B 6/00

FI (5件)：

G01N 21/77 Z ,  G01N 21/27 Z ,  G01N 21/64 Z ,  G01N 21/78 Z ,  G02B 6/00 B

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-232559
  
• 特開平2-232559
  
• 酸性ガスまたはアルカリ性ガスの検知材及びその製造方法並びに検知装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-058370   出願人：株式会社荏原総合研究所, 株式会社荏原製作所
• 特開平2-232559
  

引用文献：

審査官引用 (1件)

• “FIBRE OPTIC pH SENSORS PREPARED BY SOL-GEL IMMOBILISATION TECHNIQUE”