特許

J-GLOBAL ID：200903026662308620

シリコン微粒子及び/又はコロイドシリカ含有排水の凝集処理方法

発明者： 奥村 正剛 ,  田中 秀和 ,  志水 浩三
出願人/特許権者： 栗田工業株式会社
代理人 (1件)： 内山 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-054184
公開番号（公開出願番号）：特開2004-261708
出願日： 2003年02月28日
公開日（公表日）： 2004年09月24日
要約：

【課題】半導体製造プロセスなどにおいて発生するシリコン微粒子及び/又はコロイドシリカを含有する排水を凝集処理して、シリコン微粒子及び/又はコロイドシリカを効率的に回収し、水質の良好な処理水を得ることができるシリコン微粒子及び/又はコロイドシリカ含有排水の凝集処理方法を提供する。【解決手段】シリコン微粒子及び/又はコロイドシリカを含有する排水に無機凝集剤を添加する凝集処理方法において、(a)排水のpHを6.5未満に調整したのち、pHを6.5〜7.5に調整して凝集処理する、(b)排水のpHを7.5超に調整したのち、pHを6〜7.5に調整して凝集処理する、又は、(c)排水に酸化剤を添加し、排水のpHを4〜8に調整して凝集処理することを特徴とするシリコン微粒子及び/又はコロイドシリカ含有排水の凝集処理方法。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

シリコン微粒子及び/又はコロイドシリカを含有する排水に無機凝集剤を添加する凝集処理方法において、 (a)排水のpHを6.5未満に調整したのち、pHを6.5〜7.5に調整して凝集処理する、 (b)排水のpHを7.5超に調整したのち、pHを6〜7.5に調整して凝集処理する、又は、 (c)排水に酸化剤を添加し、排水のpHを4〜8に調整して凝集処理することを特徴とするシリコン微粒子及び/又はコロイドシリカ含有排水の凝集処理方法。

IPC (3件)：

C02F1/52 ,  B01D21/01 ,  C02F1/72

FI (3件)：

C02F1/52 K ,  B01D21/01 102 ,  C02F1/72 Z

Fターム (27件)：

4D015BA19 ,  4D015BA23 ,  4D015BB05 ,  4D015BB08 ,  4D015BB12 ,  4D015CA20 ,  4D015DA04 ,  4D015DA06 ,  4D015DA15 ,  4D015DA17 ,  4D015EA13 ,  4D015EA14 ,  4D015EA15 ,  4D015EA16 ,  4D015FA01 ,  4D015FA24 ,  4D050AA13 ,  4D050AB31 ,  4D050BB02 ,  4D050BB03 ,  4D050BB05 ,  4D050BB06 ,  4D050BB09 ,  4D050BD02 ,  4D050BD06 ,  4D050CA13 ,  4D050CA16