特許
J-GLOBAL ID：200903026663509017
静電容量型多軸加速度センサ
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松井 伸一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-061929
公開番号（公開出願番号）：特開平11-248737
出願日： 1998年02月27日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：
【要約】【課題】 簡略な構成により他軸の干渉を防止することができ、加速度の検出を多軸について高精度に行える静電容量型多軸加速度センサを提供すること【解決手段】 可動電極15の上方に、X軸の検出電極31,32を対に配置するとともにY軸の検出電極も交差して対に配置する。可動電極の上面と重り11bの下面に突起部17a,17bを設ける。Z軸方向の加速度が加わると、可動電極が移動しようとするが、上下の空隙では突起部が対向面に接触し、その移動は阻止されて動けない。この接触した突起部が支持軸となるので可動電極のスイング動作は可能であり、X軸,Y軸方向の加速度の検出には支障ない。可動電極は突起部が接触するまでは極わずかに変位するが、これは定位置に止められると考えてよく、X軸,Y軸には影響が極めて小さい。
請求項（抜粋）：
複数の固定電極が形成された固定基板と、その固定基板に接合される半導体基板とを有し、前記半導体基板は、前記固定基板と接合される枠体と、その枠体の内側に配置された加速度を受けて変位する可動体と、その可動体を前記枠体に対して弾性支持する梁とを有し、その可動体の前記固定電極に対向する面に所定のギャップをおいて可動電極を設け、その可動電極と前記固定電極との間に発生する静電容量に基づいて複数方向の加速度を検知する半導体容量型多軸加速度センサであって、前記可動体と、前記固定基板の対向する表面の少なくとも一方に、突起部を設けたことを特徴とする静電容量型多軸加速度センサ。
IPC (4件)：
G01P 15/125
, G01H 11/06
, G01L 5/16
, H01L 29/84
G01P 15/125
, G01H 11/06
, G01L 5/16
, H01L 29/84 Z
