特許
J-GLOBAL ID：200903026664854630
バンプ付基板の検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
菅原 正倫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-105671
公開番号（公開出願番号）：特開平11-287627
出願日： 1998年03月31日
公開日（公表日）： 1999年10月19日
要約：
【要約】【課題】 基板上に形成された各バンプの高さに関する情報を極めて直感的に把握することが可能なバンプ付基板の検査装置を提供する。【解決手段】 基板本体上にバンプを複数形成したバンプ付基板の、バンプの配列された検査面に検査光を照射し、その反射光をPSDにて受光しつつ検査光を検査面内にて二次元的に走査し、そのときのPSDの検知出力に基づいて、検査面内の各位置の高さ値に関する情報を生成する。そして、高さ値の範囲を1ないし複数の閾値により分割し、その分割された高さ値の各範囲に対し、表示装置98の画素の濃度及び/又は色彩を一対一に対応させ、検査面上の各位置に対応する画素の濃度又は色彩を、高さ値情報が示すそれら各位置の高さ値に対応するものに設定することにより、検査面上の高さ値分布を該表示装置98にマッピング出力を行う。
請求項（抜粋）：
基板本体上に複数のバンプが二次元的に配列されたバンプ付基板の検査装置であって、前記バンプ付基板の、少なくとも前記複数のバンプの配列された領域を検査面として、該検査面に前記検査光を照射する光源と、前記検査面からの前記検査光に基づく反射光を受光する受光部と、前記検査光を前記検査面内にて二次元的に走査する光走査手段と、前記受光部の検知出力に基づいて、前記検査面内の各位置の高さに関する情報(以下、高さ情報という)を生成する高さ情報生成手段と、を含む測定系と、前記高さ情報に基づいて、前記検査面上の各バンプの形成状態を反映した検査情報を生成する検査情報生成手段と、その生成された検査情報を出力する検査情報出力手段とを備え、前記検査情報出力手段は、前記高さの範囲を1ないし複数の閾値により分割し、その分割された高さの各範囲に対し、表示装置の画素の濃度及び/又は色彩を一対一に対応させ、前記検査面上の各位置に対応する画素の濃度又は色彩を、前記高さ情報が示すそれら各位置の高さに対応するものに設定することにより、前記検査面上の高さ分布を前記表示装置にマッピング出力させる高さ分布表示手段を備えることを特徴とするバンプ付基板の検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/24
, G01B 11/02 Z
