特許

J-GLOBAL ID：200903026669326097

表面欠陥検査装置

発明者： 吉 田 清 ,  今 西 正 則 ,  鈴 木 裕
出願人/特許権者： 日産自動車株式会社
代理人 (1件)： 小塩 豊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-166402
公開番号（公開出願番号）：特開平10-009840
出願日： 1996年06月26日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 被検査面が複雑な曲面であっても、欠陥を自動的に且つ精度良く検出することができるようにする。【解決手段】 被検査体であるボディ5を囲む門型形状を成し且つ被検査面上に所定の明暗パターンを形成する照明手段1と、被検査面からの反射光に基づいて受光画像を作成する複数の撮像装置CCDカメラ3が取り付けられた撮像装置固定手段2と、受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出してその結果を出力する欠陥検査処理手段4と、欠陥検査処理手段4で検出された移動欠陥の平均面積から欠陥の大きさを算出する欠陥サイズ算出手段45と、欠陥の面積から欠陥修正の要否を判定する欠陥判定手段43aを備え、照明手段1および撮像装置固定手段2の門型内部にボディ5を通過させて被検査面の検査を行うと共に被検査面における欠陥修正の要否判定を行う。

請求項（抜粋）：

被検査体を囲む門型形状を成し且つ被検査体の被検査面に光を照射して所定の明暗パターンを形成する照明手段と、被検査体を囲む門型形状を成し且つ被検査体の被検査面からの反射光に基づいて受光画像を作成する複数の撮像装置が取り付けられた撮像装置固定手段と、撮像装置により得られた受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出してその結果を出力する欠陥検査処理手段を備えた表面欠陥検査装置において、欠陥検査処理手段で検出された移動欠陥の平均面積から欠陥の大きさを算出する欠陥サイズ算出手段と、欠陥サイズ算出手段で算出された欠陥の面積(大きさ)から欠陥修正の要否を判定する欠陥判定手段を備え、照明手段および撮像装置固定手段の門型内部に被検査体を通過させて被検査面の欠陥検査と欠陥修正の要否判定を行うことを特徴とする表面欠陥検査装置。

IPC (5件)：

G01B 11/30 ,  G01N 21/55 ,  G01N 21/88 ,  G06T 7/00 ,  G06T 7/60

FI (5件)：

G01B 11/30 Z ,  G01N 21/55 ,  G01N 21/88 Z ,  G06F 15/62 400 ,  G06F 15/70 350 F