特許
J-GLOBAL ID：200903026673140747
銅の化学蒸着に有用な有機銅(I)前駆体
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-010990
公開番号（公開出願番号）：特開平11-315081
出願日： 1999年01月19日
公開日（公表日）： 1999年11月16日
要約：
【要約】【課題】 常温で液体として存在し銅の低温化学蒸着に適した有機銅(I)前駆体を提供し、不純物がなく優れたステップカバレージおよび開口充填特性を示す銅薄膜の形成を可能にする。【解決手段】 下記一般式(A)【化1】(前記式中、R1は炭素数3〜8のシクロアルキル基であり、R2およびR3は各々独立に炭素数1〜4のパーフルオロアルキル基である。)で表される有機銅(I)前駆体。
請求項（抜粋）：
下記一般式(A)【化1】(前記式中、R1は炭素数3〜8のシクロアルキル基であり、R2およびR3は各々独立に炭素数1〜4のパーフルオロアルキル基である。)で表されることを特徴とする有機銅(I)化合物。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C07F 1/08 B
, H01L 21/285 Z
