特許

J-GLOBAL ID：200903026681951347

蛍光X線分析方法

発明者： 越智 寛友
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 縣 浩介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-079682
公開番号（公開出願番号）：特開平8-247972
出願日： 1995年03月11日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：

【要約】【目的】 蛍光X線分析法で試料が異形或は不均一であり、かつ試料と同種の基準試料が入手できない場合の分析方法。【構成】 入手可能な任意基準試料で目的成分の蛍光X線強度を理論計算し、実測により計算値の実測値への変換式を求めておき、分析対象試料について組成を仮定して目的成分の蛍光X線強度を計算し、上記換算式によって予想実測値を求め、これがその試料の実測値と一致するように仮定組成値を修正する計算を繰返し、最終的な仮定組成値を分析結果とする。【効果】 基準試料の材質が任意なので入手容易。

請求項（抜粋）：

試料に励起X線を照射し、試料から放射される分析対象元素の蛍光X線および散乱X線を分光検出する蛍光X線分析方法において、分析対象試料とは異種或は同種で分析対象元素を含み組成既知の適宜選択された基準試料につき、分析対象元素の蛍光X線波長位置およびX線管ターゲット物質から発生する特性X線のコンプトン散乱波長位置における各計算X線強度をその既知組成に基いて計算し、一方でその基準試料に励起X線を照射したときの分析対象元素の蛍光X線波長位置および前記特性X線のコンプトン散乱波長位置における各実測X線強度を測定し、前記各計算X線強度と前記各実測X線強度から計算X線強度を実測強度と同じ単位に変換する各々の変換係数を求めておき、分析対象試料について、組成を仮定して分析対象元素の蛍光X線波長位置および前記特性X線のコンプトン散乱X線波長位置におけるX線強度を計算し、その計算値に前記した各々の変換係数をかけて求めた値から蛍光X線波長位置および前記特性X線のコンプトン散乱X線波長位置におけるそれぞれのX線強度の計算比を求め、さらに分析対象試料に励起X線を照射したときの分析対象元素の蛍光X線波長位置および前記特性X線のコンプトン散乱波長位置における各実測X線強度からそれぞれのX線強度の実測比を求め、その計算比と実測比を比較し、両者が一致するまで仮定組成を修正しながら計算を繰り返し、両者が一致したときの仮定組成を分析値とする蛍光X線分析方法。