特許

J-GLOBAL ID：200903026684190231

透明導電材の形成方法

発明者： 土岐 元幸
出願人/特許権者： 株式会社関西新技術研究所
代理人 (1件)： 間宮 武雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-083366
公開番号（公開出願番号）：特開平8-253318
出願日： 1995年03月14日
公開日（公表日）： 1996年10月01日
要約：

【要約】【目的】 液晶表示装置の透明電極ITO膜を、スパッタ法や蒸着法によった場合よりも低い温度で形成できる方法を提供する。【構成】 インジウムアルコキシドとスズアルコキシドとを原料として非晶質のITOゾルを調製し、それに結晶性ITO粉末を種結晶として添加し、ゾル-ゲル法を応用してゲル化したITOゲルを加熱して結晶化する。

請求項（抜粋）：

インジウムアルコキシドIn(OR)3(R:炭素数1〜10のアルキル基)とスズアルコキシドSn(OR’)4(R’:炭素数1〜10のアルキル基)とを原料として調製されたITOゾルにITO種結晶を添加し、その混合物を加熱してITOゲルを結晶化させることを特徴とする透明導電材の形成方法。

IPC (5件)：

C01G 19/00 ,  C30B 29/22 ,  G09F 9/30 335 ,  H01B 13/00 503 ,  H01B 5/14

FI (5件)：

C01G 19/00 A ,  C30B 29/22 Z ,  G09F 9/30 335 E ,  H01B 13/00 503 C ,  H01B 5/14 A