特許

J-GLOBAL ID：200903026686916680

鋳型および鋳造方法

発明者： 富田 佳紀
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-001731
公開番号（公開出願番号）：特開平5-177297
出願日： 1992年01月08日
公開日（公表日）： 1993年07月20日
要約：

【要約】【目的】 微細な凹凸のパターンを有する鋳型と、この鋳型を用い、表面に微細な凹凸のパターンを有する鋳造物を製造する鋳造方法とを提供する。【構成】 基板1にフォトレジストを塗布し(c)、鋳物に形成しようとする凹凸パターンに対応するパターンのマスク4を重ねて露光する(d)。そののち、現像して前記パターンに対応してフォトレジスト3を除去する。そして、エッチング液5に浸してエッチングを行ない(e)、表面に微細な凹凸パターンを有する鋳型6を得る(f)。鋳造は、この鋳型6を利用して行なわれる。

請求項（抜粋）：

金属、金属化合物、シリコンあるいはシリコン化合物からなる鋳型部材と、前記鋳型部材の表面にフォトレジストを塗布し、前記フォトレジストを所定のパターンに露光させて現像し、そののち前記フォトレジストをエッチングマスクとして前記鋳型部材のエッチングを行なうことにより作成された鋳型パターンとを有することを特徴とする鋳型。

IPC (7件)：

B22C 7/02 103 ,  B22C 9/02 101 ,  B22C 9/06 ,  B22D 25/02 ,  B29C 33/38 ,  B29C 33/42 ,  C23F 1/00 102

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-281033
  
• 特開平1-118355
  
• 特開平2-299740
  
• 特開昭61-009943