特許
J-GLOBAL ID：200903026687470545
基板用保管装置及び基板の保管方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
竹村 壽
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-119806
公開番号（公開出願番号）：特開平5-291387
出願日： 1992年04月13日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：
【要約】【目的】 保管装置に用いる容器などからの影響を受けずにウェ-ハやマスク基板等の基板類を保管する基板用保管装置およびその保管方法を提供する。【構成】 基板用保管装置10は、PPやPFAなどの合成樹脂からなる密閉容器3を備えており、この容器3内には、同様の合成樹脂からなるキャリア2を配置している。さらに、容器3内には、これらの合成樹脂から発生する有機物の脱ガスを防止する手段を備えている。その手段の1つとして、キャリア2の表面や容器3の内壁に水溶性被膜を形成する。水溶性被膜は、アセトンやアルコ-ルなどの有機溶媒5からなり、有機物5は、容器4に入れられて、密閉容器3に入れておく。
請求項（抜粋）：
合成樹脂からなる保管容器と、前記保管容器内に配置され、前記保管容器内に収容される基板を保持する合成樹脂キャリアと、前記保管容器内において、前記保管容器もしくは前記キャリアを構成する合成樹脂からの脱ガスの発生を防止する手段とを備えていることを特徴とする基板用保管装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65D 85/00
, B65D 85/38
