特許

J-GLOBAL ID：200903026697567806

化学的機械的研磨システムのための適合材料層を有するキャリアヘッド

発明者： ロバート ディー. トールズ ,  ツンガン チャン ,  ジョン プリンス ,  シャモウイル シャモウイリアン ,  ノーム シェンドン
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-315752
公開番号（公開出願番号）：特開平10-180626
出願日： 1997年10月13日
公開日（公表日）： 1998年07月07日
要約：

【要約】【課題】 均一な負荷が基板に加えられる化学的機械的研磨装置のためのキャリアヘッドを提供する。【解決手段】 適合材料層がキャリアヘッドのリセスに配置されて基板の装着面を提供している。適合材料層は、弾性的であって加えられた負荷によって垂直にひずむことができる。キャリアヘッドは、脱着可能に裏当て固定具に接続されている支持固定具と、直接適合材料層に接続している保持リングと、適合材料層の部分を越えて付き出しているシールドリングとを備えている。

請求項（抜粋）：

化学的機械的研磨装置内で、基板を研磨面に配置するためのキャリアであって、ハウジングと、基板の装着面を提供している適合材料層を保持するための前記ハウジングに接続されている格納アセンブリと、を備えるキャリア。

IPC (2件)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 321

FI (2件)：

B24B 37/04 E ,  H01L 21/304 321 H