特許

J-GLOBAL ID：200903026698056376

振動アクチュエータ

発明者： 鈴木 智明 ,  那須 信義 ,  高木 忠雄 ,  権田 常躬 ,  菅谷 功
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 鎌田 久男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-120296
公開番号（公開出願番号）：特開2001-157475
出願日： 2000年04月21日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：

【要約】【課題】 高トルクでありながらも、低電圧で駆動可能になるようにし、また同時に、簡単な構造で小型化が図れる。【解決手段】 放射方向に伸縮する径方向対称伸び振動モードと、同一面内で非軸対称に屈曲する非軸対称面内振動モードとを同時に発生する振動子40を用いた振動アクチュエータにおいて、振動子40は、2つの圧電セラミックス41a,41bとそれらの圧電セラミックス41a,41bに挟持される金属板41cとからなる積層構造を、少なくとも1組備える。

請求項（抜粋）：

放射方向に伸縮する径方向対称伸び振動モードと、同一面内で非軸対称に屈曲する非軸対称面内振動モードとを同時に発生する振動子と前記振動子に対して相対的に移動可能にある相対運動部材とを有し、前記振動子と前記相対運動部材とを相対的に運動させる振動アクチュエータにおいて、前記振動子は、2つの電気機械エネルギー変換素子とそれらの電気機械エネルギー変換素子の間に設けられる弾性部材とからなる積層構造を、少なくとも1組備えること、を特徴とする振動アクチュエータ。

IPC (3件)：

H02N 2/00 ,  B06B 1/06 ,  H01L 41/09

FI (5件)：

H02N 2/00 C ,  B06B 1/06 Z ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/08 U ,  H01L 41/08 K

Fターム (15件)：

5D107AA03 ,  5D107AA13 ,  5D107AA16 ,  5D107BB20 ,  5D107CC02 ,  5D107CC10 ,  5D107FF10 ,  5H680AA06 ,  5H680BB04 ,  5H680CC03 ,  5H680DD27 ,  5H680DD30 ,  5H680DD35 ,  5H680DD53 ,  5H680DD73