特許
J-GLOBAL ID:200903026704976520
検知剤
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-215458
公開番号(公開出願番号):特開平8-129009
出願日: 1995年07月31日
公開日(公表日): 1996年05月21日
要約:
【要約】【目的】 半導体製造工程などから排出される排ガスなどに含まれるアルシン、ホスフィン、シランなどの水素化物ガスを他のガスによる悪影響をうけることなく、選択的に感度よく検知できる検知剤を開発する。【構成】 無機質担体に変色成分としてモリブデン酸あるいはモリブデン酸塩、好ましくはモリブデン酸塩と第二銅塩との混合物を担持させて検知剤とする。
請求項(抜粋):
ガス中に含まれる水素化物ガスの検知剤において、無機質担体に変色成分としてモリブデン酸およびモリブテン酸塩の少なくとも1種が担持されてなることを特徴とする検知剤。
IPC (3件):
G01N 31/22 121
, G01N 21/77
, G01N 31/00
引用特許:
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