特許

J-GLOBAL ID：200903026709903319

アルコキシアルキルエステル溶解抑制剤を含んでなる光画像形成性組成物

発明者： デニス・エドワード・ヴオーゲル
出願人/特許権者： ミネソタ マイニング アンド マニユフアクチヤリング カンパニー
代理人 (1件)： 青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-309070
公開番号（公開出願番号）：特開平5-005985
出願日： 1991年11月25日
公開日（公表日）： 1993年01月14日
要約：

【要約】【構成】 水性基剤に溶解性のバインダー、アルコキシアルキルエステルを含んでなる酸感応性溶解抑制剤、および光化学酸源を含んでなる光画像形成性組成物。【効果】 露光物質の耐現像液性が優れているために優れた解像度および感度のプリントが得られる。

請求項（抜粋）：

(a)水性基剤に溶解性のバインダー、(b)アルコキシアルキルエステルを含んでなる酸感応性溶解抑制剤、および(c)光化学酸源を含んでなる光画像形成性組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 531 ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/06

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭63-027829
  
• 特開平4-037760
  
• 特開平3-198059
  
• 特開平4-136856