特許
J-GLOBAL ID：200903026710851900
表面計測装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-229224
公開番号（公開出願番号）：特開平7-174800
出願日： 1987年09月25日
公開日（公表日）： 1995年07月14日
要約：
【要約】【目的】 本発明の目的は、半導体表面計測に関し、界面や膜中の電荷分布を測定するのに好適な装置を提供することにある。【構成】 一つの被計測物に対し、被計測物と電極との間の距離を変化させ、複数の距離において被計測物と電極との間に電圧を印加可能な構成とする。【効果】 本発明によれば、効率良く被計測物中の電荷分布を推定することができる。
請求項（抜粋）：
被計測物と電極との間に電圧を印加する表面計測装置において、一つの前記被計測物に対し、前記被計測物と前記電極との間の距離を複数の異なる距離に保持し、それぞれの距離において前記電圧を印加する手段を有することを特徴とする表面計測装置。
IPC (3件)：
G01R 29/14
, G01R 29/12
, H01L 21/66
