特許
J-GLOBAL ID：200903026715015662

砥粒固定型研磨定盤

発明者：
山口 幸男

山口 幸男 について

, 
伊藤 成利

伊藤 成利 について


出願人/特許権者：
株式会社ノリタケカンパニーリミテド

株式会社ノリタケカンパニーリミテド について


代理人 (1件)： 池田 治幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-321909
公開番号（公開出願番号）：特開平8-174428
出願日： 1994年12月26日
公開日（公表日）： 1996年07月09日
要約：
【要約】【目的】 異種材料が組み合わされている被研磨材をラッピング研磨する場合にも、高い表面平滑性を得ることができる研磨定盤を提供する。【構成】 定盤10の研磨面側の表層部には、ダイヤモンド砥粒22と、そのダイヤモンド砥粒22の最大径よりも十分大きい最小粒径を備えた粒状錫粉24とを含む研磨層20が設けられている。そのため、ラッピング研磨を施すに際しては、定盤10が砥石として作用することから遊離砥粒液が不要となり、被研磨材28が硬度の異なる異種材料を組み合わさて成る場合にも、遊離砥粒加工に起因する加工段差の発生が好適に抑制される。
請求項（抜粋）：
被研磨材の表面をラッピング研磨するに際して該被研磨材が研磨面に摺接させられる研磨定盤であって、砥粒と、該砥粒の平均粒径よりも大きい平均粒径を備えた軟質金属粒子とを含む砥粒層が、前記研磨面側の表層部に設けられていることを特徴とする砥粒固定型研磨定盤。
IPC (3件)：
B24D 3/00 330 ,  B24B 37/04 ,  B24D 7/00
引用特許：
審査官引用 (4件)
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