加工物吸着板

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：永田良昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-262512
公開番号（公開出願番号）：特開平9-076088
出願日： 1995年09月16日
公開日（公表日）： 1997年03月25日
要約：

【要約】【課題】金属フィルムを精密且つ正確に加工でき、加工精度の向上を図ることのできる加工物吸着板を提供する。【解決手段】金属母材の凹状嵌込み部に固定された多孔質吸着板の上面側に金属フィルムを供給した後、負圧発生装置を駆動して、金属母材の凹状嵌込み部に形成した各吸気孔と、同部に固定した多孔質吸着板とを介して吸気することで、多孔質吸着板の上面側全体に生じる負圧により金属フィルムが弛み及び皺の無い状態に吸着保持され、金属フィルムの平面度が常時維持される。この後、多孔質吸着板の上面側に吸着保持された金属フィルムをレーザ加工機から照射されるレーザ光線により所定の形状寸法に溶断することで、集積回路の高密度化及び小型化に対応してリードフレームを精密且つ正確に溶断することができ、加工精度が向上する。

請求項（抜粋）：

レーザ照射手段から照射されるレーザ光線で金属フィルムを所定の形状寸法に加工するときに、該レーザ光線が照射される照射位置に金属フィルムを吸着保持する加工物吸着板であって、上記照射位置に配設した金属母材の上面側に炭化珪素材で形成した多孔質吸着板を接合固定し、該金属母材の接合部分に上記多孔質吸着板と対向して多数個の各吸気孔を形成すると共に、上記金属母材に形成した各吸気孔と連通して該金属母材の下面側に負圧発生手段を接続した加工物吸着板。

IPC (3件)：

B23K 26/10 , B23Q 3/08 , H01L 23/50

FI (3件)：

B23K 26/10 , B23Q 3/08 A , H01L 23/50 B

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