特許
J-GLOBAL ID：200903026723419225
顕微鏡の試料保持装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-302576
公開番号（公開出願番号）：特開平5-113309
出願日： 1991年10月22日
公開日（公表日）： 1993年05月07日
要約：
【要約】【目的】 試料加熱時の試料の破損を防ぎ得る顕微鏡の試料保持装置を提供する。【構成】 ピエゾ素子7が縮まるような電圧を、電源10を制御してピエゾ素子7に印加する。この結果、ピエゾ素子7は縮まり、試料3と碍子8bは非接触となる。次に、電源9を制御して試料3を所望の温度まで通電加熱刷る。この加熱により、試料3は熱膨脹する。試料3はベース6に対して自由な状態なので、自然な状態で膨脹できる。試料3の温度が所望の温度まで上がると、ピエゾ素子7が伸びるような電圧を、電源10を制御してピエゾ素子7に印加する。この結果、ピエゾ素子7は伸び、碍子8bにより試料3はベース6に固定される。ピエゾ素子4が伸びるような電圧を、電源11を制御してピエゾ素子4に印加ば、ベース6に固定されている試料3もピエゾ素子4が伸びる方向に引っ張られる。
請求項（抜粋）：
試料の一端を固定する第1ベースと、該試料の他端を挟持するための第2ベースと、第1ベースと第2ベース間の間隔を制御するための第1のピエゾ素子を備えた顕微鏡の試料保持装置であって、前記第2ベースの挟持部は、前記試料の他端を受けるための受け部と、該受け部に該試料の他端を押しつけるための第2のピエゾ素子を備え、該第2のピエゾ素子には該第2のピエゾ素子の伸縮を制御するための制御手段が接続されている顕微鏡等の試料保持装置。
IPC (3件)：
G01B 7/34
, G12B 5/00
, H01J 37/20
