特許
J-GLOBAL ID：200903026731684477
磁気ヘツドスライダの研磨方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武田 元敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-251348
公開番号（公開出願番号）：特開平5-089625
出願日： 1991年09月30日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：
【要約】【目的】 磁気ヘッドスライダの走行面を高精度に平面研磨する。【構成】 フレクシャアーム3にスライダ2を取り付けた状態で研磨板1上を走行させる。この時スライダ2は走行速度に応じた流体による動圧力とフレクシャアーム3からの押さえ荷重のバランスする点で浮上姿勢を決定し、スライダ2を浮上させることができる。この時、回転数を制御して走行速度を替え、適度なスライダ2と研磨板との接触状態を選択する。
請求項（抜粋）：
磁気ヘッドスライダをフレクシャアームによって単一支持させ、該磁気ヘッドスライダを、回転する研磨板上に流体の動圧効果によって微小間隔浮上させることにより、磁気ヘッドスライダの走行面が上記、研磨板面に部分的に接触して、研磨が進行することを特徴とする磁気ヘッドスライダの研磨方法。
IPC (2件)：
G11B 21/21 101
, G11B 5/60
