特許
J-GLOBAL ID：200903026749270459
浮上装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
加藤 久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-233322
公開番号（公開出願番号）：特開2000-062950
出願日： 1998年08月19日
公開日（公表日）： 2000年02月29日
要約：
【要約】【課題】 対象物を安定的に浮上させることが可能で、塵埃を発生したり、クリンルームの清浄度を悪化させることのない浮上装置を提供する。【解決手段】 浮上装置10は、ベース材15上に平行に配置された複数のエア供給管13と、ガラス基板11の形状に合わせてこれらのエア供給管13に分散配置された複数の通気性セラミックス材12と、ストッパ21a,21bなどをを備えている。そして、エアホース14を経由して気体供給管13に供給された圧縮空気が通気性セラミックス材12を通して上方ヘ噴出し、ガラス基板11を浮上させる。
請求項（抜粋）：
浮上対象物の形状に合わせて分散配置された複数の通気性セラミックス材と、前記通気性セラミックス材を通して上方ヘ気体を噴出させる気体供給手段とを備えた浮上装置。
IPC (3件)：
B65G 49/07
, B65G 51/03
, H01L 21/68
B65G 49/07 J
, B65G 51/03 D
, H01L 21/68 A
5F031AA10
, 5F031CC52
, 5F031CC53
, 5F031CC54
, 5F031LL01
, 5F031LL07
